德國費(fèi)托斯壓電閥8047503原理是利用功能陶瓷片在電壓作用下產(chǎn)生彎曲變形原理制成的一種兩位式(或比例式)控制閥?？刂茐弘婇y動作只需提供足夠的電壓，電功耗幾乎為零。 壓電閥在E/P轉(zhuǎn)換單元中起先導(dǎo)閥的作用，每個E/P轉(zhuǎn)換單元同時應(yīng)用兩個壓電閥，對于壓電閥由于導(dǎo)壓(即先導(dǎo)腔室中的氣壓力)太小，不具有產(chǎn)生氣流的能力，所以必須增壓。

  德國費(fèi)托斯壓電閥8047503原理增壓是在伺服部分完成，它的作用猶如氣動繼電器。伺服部分在先導(dǎo)腔室一側(cè)有一個面積較大膜片，在輸出及排氣腔室一側(cè)有一個面積較小的面。當(dāng)導(dǎo)壓達(dá)到120kPa時，施加在先導(dǎo)腔室一側(cè)膜片上的力，大于作用在輸出及排氣腔室另一側(cè)面上的力，這將迫使移動閥心與排氣閥心移動，當(dāng)兩側(cè)面的力達(dá)到平衡時，這樣作用在輸出及排氣腔室一側(cè)面上的氣壓將大于導(dǎo)壓，從而達(dá)到增壓的目的。其動作原理:壓電閥的初始狀態(tài)(不通電)，功能陶瓷片作用在噴嘴口1上，這時，口2與噴嘴口3與先導(dǎo)腔連通，形成為一個整體。當(dāng)壓電閥接通電源時，功能陶瓷片變形向上翹，把噴嘴口3壓住，使得口2與噴嘴口1連通。

  在智能閥門定位器的壓電元件就是利用逆壓電效應(yīng)，制成的氣動換向閥。中間彎曲的部分為壓電材料組成的壓電片，在電場作用下會產(chǎn)生形變，實(shí)現(xiàn)氣動閥門的關(guān)閉。當(dāng)外加控制電場時，壓電片產(chǎn)生變形上翹，上翹的壓電片關(guān)閉排氣口，進(jìn)氣口和輸出口相通，相當(dāng)于一個2位3通換向閥，去控制氣動閥的關(guān)閉。壓電材料還有一個特點(diǎn)，壓電材料的變形量正比于施加在其上的電場強(qiáng)度，利用這一特點(diǎn)可以制成比例調(diào)壓閥。
施加不同的電壓，壓電片產(chǎn)生不同的形變量，三葉羅茨真空泵這樣就在進(jìn)氣口、輸出口、排氣口之間形成不同比例的氣流通道，使輸出氣口得到不同的氣體壓力，從而去連續(xù)控制氣動閥門的開度。
智能閥門定位器內(nèi)設(shè)微處理器，根據(jù)輸入信號和位置反饋信號的偏差，經(jīng)過pid運(yùn)算，輸出數(shù)字信號作用在壓電閥上，控制氣動信號，去推動執(zhí)行機(jī)構(gòu)，改變閥門的開度，實(shí)現(xiàn)過程控制。調(diào)節(jié)控制信號和從反饋電位器來的位置反饋信號在微處理器經(jīng)過pid運(yùn)算后，轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，去控制壓電閥。